半導體工藝潔凈烘箱，百級潔凈烘箱性能介紹-及

發(fā)布時間：2020-07-29 02:30:31 作者：庫寶試驗設備

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半導體工藝潔凈烘箱，百級潔凈烘箱性能介紹：

1. 潔凈烘箱是一種用于對于生產(chǎn)過程中用于產(chǎn)品對潔凈度高要求的加熱烘烤設備。本產(chǎn)品具有安全性好，潔凈度高,節(jié)能效果優(yōu)，保溫性佳，溫度均勻性好。大多應用于烘烤光學、光電、光纖,精密電子及醫(yī)藥器材等欲烘烤物品的烘干或溫升處理等。廣泛用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫(yī)藥、光學、航天及軍工科研實驗室等生產(chǎn)及科研部門中凈化干燥的要求。具有獨特設計的強鼓風循環(huán)系統(tǒng)確保了溫度的穩(wěn)定性，高效循環(huán)過濾系統(tǒng)確保箱內(nèi)的潔凈度,控溫裝置采用 PID 數(shù)顯控溫(可選觸摸屏等)，直觀醒目，設有可靠性保護裝置。

2.循環(huán)方式及工作原理：本設備是一種高功能、高信賴度烤箱，結構、材質、強度、保溫、風路循環(huán)等皆設計精良，且外形美觀、操作方便。熱風循環(huán)系統(tǒng)，風源由循環(huán)馬達運轉帶動風輪經(jīng)電熱器，將熱風由風道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，當門開、關動作引起擾動時，可借此送風循環(huán)系統(tǒng)迅速回復操作狀態(tài)溫度值,使溫度更均勻。

半導體工藝潔凈烘箱，百級潔凈烘箱電氣原理：主控表進行全過程控溫，按原先設定好的程序來控制工作室內(nèi)溫度，如果溫度控制系統(tǒng)出故障，使得工作室溫度持續(xù)升高，當工作室溫度上升至二級機械保護設定值時，保護系統(tǒng)立即動作，切斷加熱電源，并發(fā)出報警信號。

　　箱體的溫度控制采用了智能電腦溫控和PLC自控系統(tǒng)，溫度信號的采集用鉑電阻，經(jīng)溫度控制器的放大與設定值進行比較得到PID控制信號，同時PLC程控器輸出控制信號控制固態(tài)繼電器SSR導通，固態(tài)繼電器再控制加熱器加熱，使箱體處于升溫除濕階段。當溫度達到設定值時，溫控儀輸出PID控制信號PLC，PLC輸出控制信號給時間繼電器KT，使其開始保溫計時，同時，關閉進風機和排風碟閥。通過PID控制電加熱不斷啟閉，箱體處于熱風循環(huán)保溫滅菌階段。當保溫滅菌時間達到設定值時，時間繼電器輸出信號給PLC，PLC輸出全閉電加熱，開啟水冷卻電磁閥，使其吸合導通，從而箱體處于冷卻降溫階段。當箱內(nèi)溫度下降≤40℃時，溫控儀輸出控制信號給PLC，PLC輸出關閉熱風循環(huán)風機，干燥滅菌周期程序結束。TEED一2001K超溫報警溫控儀輸出信號控制PLC整個程序的運行，鉑電阻PT100測試信號至報警溫控儀與超溫報警設置溫度值進行比較，當實際溫度值低于設定值時，輸出控制信號給PLC，PLC程序正常運行。當實際溫度值超過設定值時，輸出控制信號給PLC，PLC關閉運行程序。故超溫報警的設置值一般要高于工作溫度的設定值。

　　潔凈烘箱的故障分析及解決方法

　　故障現(xiàn)象描述

　　閉合循環(huán)烘箱空氣開關，按照該烘箱的操作說明書設置好加熱溫度250℃，超溫報警溫度260℃，保溫計時1h后，啟動其自動運行程序，烘箱的循環(huán)風機、進風機、碟閥、加熱等指示燈按順序亮起，表明程序運行正常。加熱運行2.5h后，溫度仍然達不到設定值，如果加熱時間過長，就會造成被加熱玻璃容器易碎，壞瓶率升高。同時，造成能源浪費，耗電量增加。以及烘箱的工作周期加長，致使在正常生產(chǎn)崗位的兩班制下不能按時完成該工藝環(huán)節(jié)，殆誤生產(chǎn)任務的進程計劃，且提高了生產(chǎn)成本。正常滿箱時溫度從室溫一直加熱到250℃需要2.5h，1個工作周期需要約6h。

　　故障分析

　　首先查看烘箱差壓表，判斷烘箱內(nèi)風速是否正常。了解循環(huán)烘箱內(nèi)被加熱物品擺放是否過于密集，高溫過濾器是否堵塞，風量調(diào)節(jié)板是否被改動，排除這些原因后，再判斷循環(huán)風機是否存在故障，造成熱風循環(huán)空氣流通不好，濕熱空氣不能正常排放。其次從故障現(xiàn)象和烘箱的電路原理分析，烘箱能夠加熱，說明智能電腦溫控儀輸出信號正常，PLC輸入輸出信號也正常。

　　故障檢測及排除

　　經(jīng)過上述故障分析，可以斷定控制信號和可調(diào)節(jié)部件均正常，然后我們從以下幾個方面進行檢查。首先核對一下GCD一23A型智能電腦溫控儀的PID調(diào)節(jié)參數(shù)，看是否人為誤操作，致使設置參數(shù)變更，從而使得系統(tǒng)出現(xiàn)動作異常。PID參數(shù)直接影響著系統(tǒng)的調(diào)節(jié)精度，是控制系統(tǒng)設計的核心內(nèi)容。通過適當?shù)腜ID參數(shù)，PID控制可以根據(jù)系統(tǒng)被控過程的誤差特性，利用比例、積分、微分計算出系統(tǒng)控制量，得到相應的輸出響應特性，控制系統(tǒng)使其達到滿意的控制效果。恢復PID參數(shù)正常設置值。其次檢測循環(huán)風機運轉是否正常，轉向是否正確。如果風機反轉或風機負載太大而轉速過慢，都將影響熱風循環(huán)不暢通。

　　當風機反轉時，可將風機的電源任意兩相倒換；當風機轉速過慢時，應從兩個方面進行檢查：

　　(1)電氣方面電源電壓是否正常，有無缺相或繞組斷路現(xiàn)象。

　　(2)機械方面有無掃膛、振動、軸承過熱、損壞、風葉松動擦箱殼等故障。可針對具體情況進行排除。再次檢測固態(tài)繼電器和加熱器有否局部斷路。固態(tài)繼電器，簡寫成‘SSR”，是一種全部由固態(tài)電子元件組成的新型無觸點開關器件，它利用電子元件(如開關三極管、雙向可控硅等半導體器件)的開關特性，可達到無觸點無火花地接通和斷開電路的目的，因此又被稱為“無觸點開關”。SSR成功地實現(xiàn)了弱信號(Vs

　　)對強電(輸出端負載電壓)的控制。SSR虛接或導通后的局部斷路致使380V電源缺相，加熱器不能全部加熱，處理方法是維修或更換固態(tài)繼電器。而加熱器的局部斷路，也將使加熱不能全部工作，造成加熱過程過于緩慢。維修或更換加熱器。將故障問題完全處理好。閉合循環(huán)烘箱空氣開關，按照該烘箱的操作說明書運行其程序，經(jīng)過2.5h的升溫后，烘箱到達設定溫度，時間繼電器開始計時，烘箱進入斷續(xù)加熱的保溫滅菌階段。保溫1h后烘箱開始冷卻降溫，2.3h后整個干燥滅菌周期程序運行結束，完全滿足該烘箱提供的技術參數(shù)要求和工藝參數(shù)要求。　　

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